主要業務
服務範疇
- 特殊氣體（Special Gas）／大宗氣體（Bulk Gas）管路系統設計施工
- 製程氣體銜接（Process Gas Hook-up）
- 各種設備機台定位與 Hook up（含水、氣、化、電、Exhaust 之管路設計、安裝與測試）
- 氣體供應與配置設備：BSGS 氣瓶櫃（G/C）與 VMB／P 之系統規劃設計、製作及檢驗測試
- CDA／Exhaust／Vent 管路設計與安裝、CQC 系統設計與配管
近五年實績
近五年實績
聯電 8A.B.C.D.E.F.S
聯電 12A P1～P6
聯穎光電
世界先進 1/2/3/5 廠
群創 T1／T2
南科 TFT LCD 七廠
中美矽晶
晶元光電
聯合再生能源
工研院
先發電光
環球晶圓
日揚科技
其他光電廠
