作業流程
原物料零組件核對
原物料檢驗
盤面組立安裝
盤面測試
組件/管路組裝
元件管路佈局
1. 無塵室
- 1.1 面積60坪,竹南
- 1.2 潔淨等級:class 1K
無塵室作業區
活動式無塵亭
1.3 無塵室內專屬設備
- 1.3.1 T. 1.G自動焊接機 ARC207HP×2 ARC107x2
- 1.3.2 T. 1.G自動焊接機 Cajonx2
- 1.3.3 微型焊把ARC 500×3 EXEL×1
- 1.3.4 車刀式切管機×3
- 1.3.5 焊接及吹淨氣源模組×3(各含purifier)
2.2 測試區
- 2.2.1 保壓測試設備:電子式保壓盤×12
Pressure Transducer高壓×2
- 2.2.2 氦氣測漏設備:INFICON×8;ALCATEL×4
- 2.2.3 塵粒測試儀:PMS LPC-101 HP×9
- 2.2.4 微氧測試儀:DELTA F PNT0010×3
- 2.2.5 微水份測試儀:MEECO TRACER×9
- 2.2.6 測試氣源模組×2,He測試氣源模組×1 (各設Purifier)
- 2.2.7 高壓測試增壓器×1
3. 電控測試室:等級class 10K
- 3.1 測試氣源模組(高壓PN2、低壓PN2、GN2) 可同時進行5組測試
4. 支援:公司現有可調度支援的設備
- 4.1 活動式簡易無塵亭×2
- 4.2 焊接設備:ARC 107×8 / 207×3 Cajon (D75×9)+(D100×5)=14 Cajon (M200)×2
- 4.3 焊把:ARC×24 Cajon (5H)×14 Cajon (10H)×2
- 4.4 測試設備
- 4.5.1 保壓:電子式×12 圓盤×21
- 4.5.2 氦氣測漏儀:INFICON×8;ALCATEL×4
- 4.5.3 塵粒測試儀×9,防爆型×1
- 4.5.4 微氧測試儀×3
- 4.5.5 微水測試儀×9
5. 所有設備均定期保養、校正
- 確認隨貨運抵之隨貨文件是否齊全(是否與材料規格相符)
- 目測材料外表是否有擠壓傷痕、凹面、平直度、平順度等之缺點
- 所有管、配件、閥件和元件必須檢查符合材料規格之要求
原物料核對作業
零組件核對作業
零組件核對作業
試焊-試片製作
管材裁切
試焊
焊道檢驗
外焊道檢驗
內焊道檢驗
組件預製
元件點焊/固定
管材焊接
元件焊接
模組焊接
組件/管路組裝
元件管路佈局
元件管路佈局
元件管路流向確認
銜接
盤面組件調整定位
盤面組件調整定位
真空氦氣測漏
保壓、塵粒、水氧測試
VMB
G/C
內層包裝
外層包裝
超高純度氣體管路
系統架構圖
- 一次配設計流程
- 二次配設計流程
- VMB 解說
- GAS CABINET 解說
| PIPE |
|
OUT D |
5S t |
IN D |
10S |
IN D |
| 1/8" |
- |
3.18 |
0.72 |
1.74 |
- |
- |
| 3/16" |
- |
4.76 |
0.72 |
3.32 |
- |
- |
| 1/4" |
- |
6.35 |
1.0 |
4.35 |
- |
- |
| 3/8" |
- |
9.53 |
1.0 |
7.53 |
- |
- |
| 1/2" |
- |
12.7 |
1.24 |
10.22 |
- |
- |
| 3/4" |
- |
19.05 |
1.65 |
15.75 |
- |
- |
| 1' |
- |
25.4 |
1.65 |
22.1 |
- |
- |
| 1/2B |
15A |
21.7 |
1.65 |
18.4 |
2.1 |
17.5 |
| 3/4B |
20A |
27.2 |
1.65 |
23.9 |
2.1 |
23 |
| 1B |
25A |
34.0 |
1.65 |
30.7 |
2.8 |
28.4 |
| 1-1/4B |
32A |
42.7 |
1.65 |
39.4 |
2.8 |
37.1 |
| 1-1/2B |
40A |
48.6 |
1.65 |
45.3 |
2.8 |
43 |
| 2B |
50A |
60.5 |
1.65 |
57.2 |
2.8 |
54.9 |
| 2-1/2B |
65A |
76.3 |
2.1 |
72.1 |
3.0 |
70.3 |
| 3B |
80A |
89.1 |
2.1 |
84.9 |
3.0 |
83.1 |
| 4B |
100A |
114.3 |
2.1 |
110.1 |
3.0 |
108.3 |
| 5B |
125A |
139.8 |
2.8 |
134.2 |
3.4 |
133.0 |
| 6B |
150A |
165.2 |
2.8 |
159.6 |
3.4 |
158.4 |