無塵室盤面裝配作業

作業流程

原物料零組件核對
原物料檢驗
盤面組立安裝
盤面測試
組件/管路組裝
組件/管路組裝
元件管路佈局
元件管路佈局

設施、設備

1. 無塵室

  • 1.1 面積60坪,竹南
  • 1.2 潔淨等級:class 1K
無塵室作業區
無塵室作業區
活動式無塵亭
活動式無塵亭

設施、設備

1.3 無塵室內專屬設備

  • 1.3.1 T. 1.G自動焊接機 ARC207HP×2 ARC107x2
  • 1.3.2 T. 1.G自動焊接機 Cajonx2
  • 1.3.3 微型焊把ARC 500×3 EXEL×1
  • 1.3.4 車刀式切管機×3
  • 1.3.5 焊接及吹淨氣源模組×3(各含purifier)

設施、設備

2.2 測試區

  • 2.2.1 保壓測試設備:電子式保壓盤×12
    Pressure Transducer高壓×2
  • 2.2.2 氦氣測漏設備:INFICON×8;ALCATEL×4
  • 2.2.3 塵粒測試儀:PMS LPC-101 HP×9
  • 2.2.4 微氧測試儀:DELTA F PNT0010×3
  • 2.2.5 微水份測試儀:MEECO TRACER×9
  • 2.2.6 測試氣源模組×2,He測試氣源模組×1 (各設Purifier)
  • 2.2.7 高壓測試增壓器×1

設施、設備

3. 電控測試室:等級class 10K

  • 3.1 測試氣源模組(高壓PN2、低壓PN2、GN2) 可同時進行5組測試

設施、設備

4. 支援:公司現有可調度支援的設備

  • 4.1 活動式簡易無塵亭×2
  • 4.2 焊接設備:ARC 107×8 / 207×3 Cajon (D75×9)+(D100×5)=14 Cajon (M200)×2
  • 4.3 焊把:ARC×24 Cajon (5H)×14 Cajon (10H)×2
  • 4.4 測試設備
  • 4.5.1 保壓:電子式×12 圓盤×21
  • 4.5.2 氦氣測漏儀:INFICON×8;ALCATEL×4
  • 4.5.3 塵粒測試儀×9,防爆型×1
  • 4.5.4 微氧測試儀×3
  • 4.5.5 微水測試儀×9

5. 所有設備均定期保養、校正

原物料核對

  • 確認隨貨運抵之隨貨文件是否齊全(是否與材料規格相符)
  • 目測材料外表是否有擠壓傷痕、凹面、平直度、平順度等之缺點
  • 所有管、配件、閥件和元件必須檢查符合材料規格之要求
原物料核對作業
原物料核對作業

零組件核對

  • 依盤面圖上所述,檢查各組件規格
零組件核對作業
零組件核對作業
零組件核對作業
零組件核對作業

盤面組立

試焊-試片製作

管材裁切
管材裁切
試焊
試焊

盤面組立

焊道檢驗

外焊道檢驗
外焊道檢驗
內焊道檢驗
內焊道檢驗

盤面組立

組件預製

元件點焊/固定
元件點焊/固定
管材焊接
管材焊接
元件焊接
元件焊接
模組焊接
模組焊接

盤面組立

組件/管路組裝

元件管路佈局
元件管路佈局
元件管路佈局
元件管路佈局
元件管路流向確認
元件管路流向確認
銜接
銜接
盤面組件調整定位
盤面組件調整定位
盤面組件調整定位
盤面組件調整定位

盤面檢驗

真空氦氣測漏
保壓、塵粒、水氧測試
真空氦氣測漏
真空氦氣測漏
保壓、塵粒、水氧測試
保壓、塵粒、水氧測試

盤面安裝

VMB
VMB
G/C
G/C

包裝

內層包裝
內層包裝
外層包裝
外層包裝

工程範圍及系統架構說明

超高純度氣體管路

系統架構圖
系統架構圖

設計項目重點

  • 一次配設計流程
  • 二次配設計流程
  • VMB 解說
  • GAS CABINET 解說

設計依據

PIPE OUT D 5S t IN D 10S IN D
1/8" - 3.18 0.72 1.74 - -
3/16" - 4.76 0.72 3.32 - -
1/4" - 6.35 1.0 4.35 - -
3/8" - 9.53 1.0 7.53 - -
1/2" - 12.7 1.24 10.22 - -
3/4" - 19.05 1.65 15.75 - -
1' - 25.4 1.65 22.1 - -
1/2B 15A 21.7 1.65 18.4 2.1 17.5
3/4B 20A 27.2 1.65 23.9 2.1 23
1B 25A 34.0 1.65 30.7 2.8 28.4
1-1/4B 32A 42.7 1.65 39.4 2.8 37.1
1-1/2B 40A 48.6 1.65 45.3 2.8 43
2B 50A 60.5 1.65 57.2 2.8 54.9
2-1/2B 65A 76.3 2.1 72.1 3.0 70.3
3B 80A 89.1 2.1 84.9 3.0 83.1
4B 100A 114.3 2.1 110.1 3.0 108.3
5B 125A 139.8 2.8 134.2 3.4 133.0
6B 150A 165.2 2.8 159.6 3.4 158.4
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