近年來，特氣供應系統已成為半導體業不可或缺的一分子，其設計上的優劣將直接到整廠的安全性與製程的穩定性。本公司將秉持著高配合度、品質至上、以及不斷的精益求精，以「提供客戶專業工程系統服務」為經營理念；從一般氣體到特殊氣體管路工程、G/C、VMB/P、氣體設備監控系統輸出介面整合及軟體設計、給排水、化學管路、電力、無塵室及Hookup工程，提供從規劃、設計、施工、測試、保固維修、系統整合及駐廠服務，由專業技術團隊竭力為客戶建置優良之廠務環境，並提供製程設備機台最佳運轉環境。
近年來，特氣供應系統已成為半導體業不可或缺的一分子，其設計上的優劣將直接到整廠的安全性與製程的穩定性。本公司將秉持著高配合度、品質至上、以及不斷的精益求精，以「提供客戶專業工程系統服務」為經營理念；從一般氣體到特殊氣體管路工程、G/C、VMB/P、氣體設備監控系統輸出介面整合及軟體設計、給排水、化學管路、電力、無塵室及Hookup工程，提供從規劃、設計、施工、測試、保固維修、系統整合及駐廠服務，由專業技術團隊竭力為客戶建置優良之廠務環境，並提供製程設備機台最佳運轉環境。
| 閥件\出口端規格 | 1/4" | 1/2" |
|---|---|---|
| 調壓閥(RGV) | V | V |
| 氣動閥(A.V) | V | V |
| 手動閥(V) | V | V |
| 壓力傳送器(PT) | V | V |
| 壓力錶(PG) | X | X |
| 過流量感知器(EFS) | V | X |
| 逆止閥(C.V) | V | V |
| 過濾器(F.T) | V | V |
| 真空產生器(V.G) | V | V |
功能：可依氣體流量大小、出口端數量多寡而設計，是否加裝加熱帶則依氣體特性而定。
高低壓PN2
GN2以及VENT
主管路氣體流向
依目前半導體業界所使用的氣體分為大宗氣體如N2、H2、O2、Ar，以及特殊氣體如NH3、SiH4、PH3等。特殊氣體依特性分為腐蝕性、毒性、易燃性、惰性等。
可依顧客要求設計接點，供氣到機台，亦除可提供使用點氣源控制之外，也可以當作氣體供應的中繼調壓，提供穩定的供氣壓力與流量，同時可規劃偵測供氣的壓力。
VMP：設計與VMB相同，差別在於有無箱子，適用於惰性特殊氣體，同樣是以手動閥進行供應控制，氣控閥（可經由電控箱進行控制，可作於ＰＬＣ程式控制或是一般控制）作為緊急關斷。
VMP一般以顧客要求設計stick的數量，除可以提供使用點氣源控制，亦可當作氣體供應的中繼調壓，提供穩壓及流量。
電控箱可分為PLC以及傳統式配線兩種作法，可由顧客決定要使用哪種型式，以及介面。
| 項目 | 檢驗標準 | 檢驗標準依據 |
|---|---|---|
| 1. CFG(錐型濾網)是否更換 | 依業主用氣純度，視需求更換，一般建議年檢查時，予以更換 | SEMI S2 |
| 2. 氣櫃箱體濾網是否更換 | 視需求更換，一般建議年檢查時，予以更換 | SEMI S2 |
| 3. 檢查調壓閥是否正常 | 將調壓閥以逆時針方向放鬆，並打開鋼瓶閥，PT2螢幕顯示壓力值不超過0 psig以上，再以順時針方向調整調壓閥至所需壓力值，觀察PT2螢幕顯示壓力值不超過±5 psig以上 | SEMI S2 |
| 4. Pigtail是否更換 | Pigtail 鎖緊鋼瓶瓶頭時，依然造成氣體洩漏 | SEMI S2 |
| 5. 檢查控制箱所有接點是否有鬆動 | 所有接線點應穩固並鎖緊 | SEMI S2 |
| 項目 | 檢驗標準 | 檢驗標準依據 |
|---|---|---|
| 1. SENSOR(偵測器)功能是否正常 | 用儀器測試，模擬真實氣體，SENSOR(偵測器)是否能確實動作 | SEMI S2 |
| 2. EXHAULT(抽風)功能是否正常 | CLOSE 25mmH2O與 OPEN 10-15mmH2O | SEMI S2 |
| 3. TOXIC(毒氣偵測器)功能是否正常 | 用儀器測試，模擬真實氣體，TOXIC(毒氣偵測器)是否能確實動作 | SEMI S2 |
| 4. 測試左、右紅EXCESS FLOW(過流量)功能是否正常 | 依業主用氣量×1.5倍 | SEMI S2 |
| 5. EMO測試 | 按下EMO, System Shutdown | SEMI S2 |
| 6. Remote shutdown測試 | 中央監控室按下EMO, System Shutdown | SEMI S2 |
| 7. 控制失效測試 | 系統正常時燈號應亮，異常時燈號應熄滅 | SEMI S2 |
| 8. 氣體房外接EMO測試 | 氣體房外按下EMO, System Shutdown | SEMI S2 |
(1) 有關處理TCS Gas，建議用台禹 SGA-310B+ 電熱水洗機台，簡介如(附件1)
(2) SiH4, B2H6, CO2都要處理這些氣體建議適用 SGA-310B+ 機台，AsH3 及PH3 用 DS-11機台 (附件2)
安裝一地震感知裝置並有RELAY的輸出。當地震來襲時，只要在設定的級數以上，則RELAY即輸出作動，可由硬體線路連接至GC、VMB、RACK、BSGS執行SHUTDOWN的動作。
PPIC專精於系統與工程、維修保養服務，提供特殊氣體管路系統、大宗氣體管路系統、BSGS、氣瓶櫃(G/C)、氣瓶架(Rack)和VMB/P等專業服務。我們擁有完整的無塵室機電統包設計施工能力，為客戶提供高品質的系統工程與維修保養服務。