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特殊氣體(Special Gas)
管路系統設計施工。
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大宗氣體(Bulk Gas)管路系統設計施工。
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製程氣体銜接。
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各種設備機台定位與Hook up。
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BSGS、氣瓶櫃(G/C)和VMB/P之設計、製作及檢測
。
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BSGS、氣瓶櫃及VMB/P監控系統輸出介面整合及
軟體設計。
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BSGS、氣瓶櫃及VMB/P盤體及電控系統維修及修
改、更換。
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水、氣、化、電、排氣之管路設計、安裝與測試。
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整廠系統及無塵室機電統包設計施工。
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CQC氣體供應品質監控系統。
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廠務系統駐廠服務。
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